材料作製
■高周波溶解炉
■単ロール急冷装置
■小型ガスアトマイズ装置
■真空アーク溶解装置
■真空アーク傾角鋳造装置
■スパッタ装置SP-3003-SS
特性評価・観察
■走査型電子顕微鏡(SEM, EBSD, 7100F, JEOL)
■走査型電子顕微鏡(SEM, EDX, S-4800, Hitachi)
■微小領域X線回折装置(D8 Discover)
■高温真空引張圧縮試験機(島津AG50VF)
材料加工
■ナノインプリント装置
■誘導加熱ハイブリッドSPS(第一機電)
■イオンミリング